手套箱旋涂

1          機器功能

1.1      手套箱旋涂設備廣泛應用于無水、無氧、無塵的超純環境

1.2     手套箱旋涂設備的主要作用是對O2、H2O、有機氣體的清除

   1.3 手套箱旋涂設備具有快速啟動、快速切換轉速和轉速穩定的性能，能夠保證膠膜厚度的一致性和均勻性，適用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO 導電玻的，半導體工藝、制版、及表面涂覆等工藝。