卷對卷磁控濺射鍍膜機

1  機器功能

  1.1該系列設備為鈣鈦礦太陽能電池、OLED、鋰電池、量子點LED、OPV等產業研發專用設備，設備可工藝制備納米級氧化物、氮化物、金屬等薄膜材料。

  1.2 本設備實現大尺寸鈣鈦礦器件的蒸鍍和實現鈣鈦礦器件的批量蒸鍍，大大提高產量和經濟效益。

  1.3 濺射腔體采用SUS 304不銹鋼材料，腔體內表面包括屏蔽板全部鏡面拋光，可以獲得潔凈的工作環境和良好的真空度。